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要生产晶圆,例如要生产太阳能晶圆产品,晶体需要从所谓的晶体生长炉(单晶炉、多晶炉)内的熔液拉出。
从熔液形成的晶体生长由晶体化的熔液慢慢冷却形成的。因此,测量熔液的温度很重要,同样,测量加热元件的温度以准确控制过程也很重要。这二个温度需要协调好,以确保晶体生长的优化。
德国DIAS红外测温10系列、40系列、42系列、44系列适合这些晶体生长的测温。主要可用的型号有DS40N、DS44N、DG42N、DS42N,测温范围为350~2500°C,均为短波红外测温仪。根据晶体生长系统的型号,也可以使用DSR10N、DSR44N双色红外测温仪。44系列、10系列还可以兼容总线系统,易于集成到现有控制系统中去。
在空间比较狭小的地方,推荐使用光纤红外测温仪。比如可以使用DSF40N及DSF44N系列,测温范围600 ~ 1800 °C ,最小探头光圈仅仅12 mm。此外,还可以选择直角镜或弯曲的光纤电缆。测量光斑仅仅几个毫米直径。从而,对这些温度测量任务,选择最优的红外测温仪光学系数,可以观测和控制这些晶体生长过程。
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